背压氦质谱检漏法也就是压氦法检漏，是一种适用于容积较小被检件的检漏方法，例如半导体一类真空密封器件的无损检漏。它的检漏过程与其他背压法一样包括3个步骤：充压、净化、检漏。

压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。

　　一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423，2328文件而定，器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测，其漏率在漏率表上显示出来。

　　一般压氦法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件，这一批的总漏率没超过报废预定值，说明这一批合格；总漏率超过报废预定值可以取出一半，剩下的一半继续检漏，这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中，依此检漏直至检出有漏孔的器件。

背压法-检漏罐

加压罐压氦装置：

加压罐压氦装置的外部接通顺序：写出设备外部条件的接通先后顺序，操作方法，具体的参数等。

1、把加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶按要求连接。

2、检查加压罐的密封圈是否有损害，加压罐进出阀门是否关闭不了;真空泵是否有足够的泵油，气镇阀旋钮是否处在关闭的位置;氦气瓶减压阀是否漏气现象。

3、确认所有应该注意的事项没有问题之后可以接电源通电。

氦质谱检漏仪背压法检漏检漏过程的说明：

一、压氦

1.将工件放入压氦罐内，确认罐内清洁干净。

2.待工件放置好后，将压氦罐的盖放置到压氦罐上，用螺钉固定牢靠。

3.再将压氦罐球阀接口与氦气瓶连接。

4.确认连接OK后，先将压氦罐的球阀打开，再开启氦气瓶的减压阀，控制检验阀的出气压力，待压氦罐上的压力表指示到规定的压力后，关闭压氦罐的球阀，再关闭氦气瓶的阀和减压阀。

5.断开气瓶与压氦罐的管路，（注意：管路内还有压力）将压氦罐放置到安全区域保压规定时间。

6.保压时间到后，将压氦罐内地氦气放至外界大气中或使用氦气袋回收。

二、清氦

7.将固定压氦罐盖的螺钉拆卸下来，再将罐盖打开。

8.取出工件，使用空气或氮气将工件表面残留的氦气清除。

9.放置好工件待用。

三、检漏

10.将检漏罐装配到检漏仪的检漏口，使用检漏仪抽空，本底值最小。

11.“停止”检漏仪，打开检漏罐，将工件分批的放置到检漏罐内。再“开始”检漏仪。

12.检漏仪按下“开始”后开始计时和观察检漏仪漏率值。

13.分别记录检漏仪开始后第10秒、第20秒、第30秒、第60秒的漏率值。

14.记录结束后“停止”检漏仪，取出工件。

15.再次重复第11-14项，检测其它工件。

氦质谱检漏仪——背压法检漏的注意事项

检漏过程会有以下现象：

1.氦质谱检漏仪只能检测微漏的工件；大漏的工件，在清氦过程，压入内部的氦气就可能泄露出来，在氦检时就检测不到氦气漏出。

2.工件清氦后，放置待检时间不要超过1小时，防止压入的氦气漏出。

3.实验测试时是单独检测工件；批量检测时检漏仪的本底值会成倍的大于单独检测的本底值。

4.批量检测时，发现有漏件，可以逐渐减半的方式，找到具体的漏件。

5.每次检测时，可以空检检漏罐并记录相应的漏率值，做为检测的对比参数。

最后提醒大家，无论采用哪种检漏方法，都要求操作者有细心观察能力和高度责任感，因为误检和漏检将造成损失，另外操作者发现未知事物的警觉性和熟练程度也是很重要的。

安徽诺益科技生产的氦质谱检漏仪凭借卓越的品质及稳定的性能已广泛应用在众多行业上，满足各种应用. 可满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 

公司建立了完善的售后服务体系，配备了专业的维修工程师，对客户的服务要求实行24小时响应，为产品的稳定运行提供了有力的保障。