10

标漏时重复抽空次数过多

1：检漏口压力抽不下，检漏口未接好或者漏孔故障。

2：V2阀没打开或打开不完全。

1：检查检漏口大漏，检测漏孔

2：检查V2阀

16

启动超时

分子泵无法正常加电。

检查分子泵

20

阳极高压错误

灯板检测离子源阳极电压错误

检修阳极供电、离子源电缆、灯丝板

21

发射电流低

灯板检测离子源发射电流低

按停止键，重新启动

22

发射电流高

灯板检测离子源发射电流高

按停止键，重新启动

23

灯板24V故障

灯板24V电压异常

检修灯板

24

80V电压故障

灯板80V电压异常

检修灯板

26

分子泵未就绪

分子泵没有启动完成

检查前级真空、分子泵自身判断

27

分子泵通讯故障

主控板没有检测到分子泵通讯

检修通讯线路、主控板

36

分子泵通讯超时

主控板长时间没有检测到分子泵通讯

检修通讯线路、主控板

36

分子泵转速过低

分子泵转速没有达到正常工作转速

检查分子泵电源和连线

37

分子泵故障

分子泵损坏或电源异常

检查分子泵电源和连线

38

分子泵警告

分子泵过热

检查检漏口真空度是否过高。

39

分子泵排气口压力高

前级泵和真空管路真空异常

检查机械泵是否工作和真空管路

40

待机时，分子泵排气口压力高

待机时前级泵和真空管路真空异常

检查机械泵是否工作和真空管路

1

吸枪模式定标时,本底值低

定标时采集本底值低

吸枪是否有堵

2

吸枪模式定标时,信号值低

环境中氦气本底太高或者标漏失效及灯丝老化。

等待环境中本底下降后再标漏，或告知生产商

3

吸枪定标异常

环境中氦气本底太高或者标漏失效及灯丝老化。

等待环境中本底下降后再标漏，或告知生产商

6

检漏时分子泵排气口异常

电磁阀内漏或检漏口真空度差

检查检漏口连接真空管路。

9

大漏保护

检漏口真空度突然变大

检查检漏口真空管路是否异常

10

抽空超时

检漏口真空度抽不下来

检查检漏口真空管路是否封堵

11

吸枪堵

请检查吸枪过滤器

查看检漏口压力是否异常

12

吸枪漏

请检查检漏口进入检漏状态后检漏口压力是否>300pa

查看检漏口压力是否异常