真空检漏

国防科技工业真空一级计量站

Primary Standard Laboratory of Vacuum, COST IND

机构简介

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国防科技工业真空一级计量站是国家国防科技工业局许可的一级计量技术机构,也是我国国防真空计量的最高技术机构,建在中国航天科技集团有限公司五院五一O研究所。通过了中国实验室国家认可、国防实验室认可、中国人民解放军军用实验室认可等资质,建立并保存了国防真空计量的最高标准装置,部分标准技术指标达到较高水平。

国防科技工业真空一级计量站科研实力雄厚,创新能力突出,建立了全部国防真空最高计量标准器具,同时建立了各类先进的真空校准测试设备,涵盖真空全压力、真空分压力、正压漏率、真空材料放气率、真空泵抽速等多个真空参数,是国际知名的真空计量专业实验室。

近年来,先后取得了有重大影响的多项科研成果,获得国家技术发明二等奖11获项、国家科技进步三等奖1项、省部级奖20项。在国内外技术刊物上发表学术论文400多项:

多篇,授权国家发明专利40余件,其中4件获中国专利优秀奖;发表学术论文1400余篇,出版《真空计量新技术》专著一部。

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计量团队

国防科技工业真空一级计量站拥有一支结构合理、素质过硬的科研队伍,在职人员40人,其中研究员6人、高级工程师6人,硕士生导师、博士生导师6人,硕士博士22人,享受国务院政府特殊津贴2人,国家一级注册计量师7人,国际宇航科学院院士1人,入选国家百千万人才工程1人,入选国家万人计划领军人才2人,中国科学技术协会全国委员会委员1人、中国真空学会副理事长1人及理事2人,中国计量测试学会常务理事1人及理事2人,中国计量测试学会真空计量专委会主任1人,中国真空学会质谱分析与检漏专委会副主任1人,全国真空技术标准化技术委员会副主任1人,“十二五”国家863计划主题专家1人,航天科技集团有限公司学术技术带头人2人,航天贡献奖获得者1人,航天创新奖获得者1人,国家杰出青年科学基金获得者1人,中国青年科技奖获得者1人,陈嘉庚青年科学奖获得者1人、甘肃省青年五四奖章获得者1人,甘肃省青年科技奖获得者2人,中国真空科技成就奖获得者2人,中国真空科技青年创新奖获得者2人,科技期刊真空编委5人,国防最高计量标准和计量人员主考人3人。

国防科技工业真空一级计量站主要研制真空计量标准,开展真空量值统一与量值准确传递工作,进行国防真空标准的考核与计量校准人员的培训。

业务范围

国防科技工业真空一级计量站提供真空计、气体微流量计、质量流量计、真空漏孔、正压漏孔、质谱计、检漏仪等校准及真空泵抽速、材料放气率/渗透率测试业务,同时提供现场校准/测试及真空校准装置的研制与真空技术咨询业务。国防科技工业真空一级计量站以量值准确、诚信公正为服务宗旨,竭诚为广大客户提供优质服务。

主要设备

超高/极高真空标准装置

用于超高、极高真空计的校准,装置采用分流法、压力衰减法和直接测量法进行校准,该标准装置填补了我国极高真空校准的空白。


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技术指标:

标准范围: (5×10-1~5×10-9) Pa·m3/s

不确定度: Ur=14%~38% (k=2)

正压漏率标准装置

用于正压漏孔的校准,装置采用定容法和定量气体动态比较法进行校准,该标准装置是我国唯一的一台实现宽量程范围内校准正压漏孔的计量标准。

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技术指标:

定容法:

校准范围:(5X10-6~1X 10-1 Pa●m3/s 不确定度:U,=5.8%(k=2)

定量气体动态比较法:校准范围:(5X10-8~2X 10-5)Pa●m3/s 

不确定度:U,=24%(k=2)

静态膨胀法真空标准装置

用于电容薄膜真空计和磁悬浮转子真空计的校准,装置采用一级膨胀法、二级膨胀法和三级膨胀法进行校准。

技术指标:

校准范围:(107~105)Pa 不确定度:U1=2.0%~0.092%(k=2)特殊工质气体微流量标准装置用于特殊气体微流量计的校准,装置采用定容法进行校准。

特殊工质气体微流量标准装置

用于特殊气体微流量计的校准,装置采用定容法进行校准。

技术指标:

校准范围: (5.0×10-5~5.0 × 10-1) Pa · m3/s

不确定度: U-= 2.0% (k=2)

校准气体:氙气、氨气、氮气、氩气、氮气

真空材料放气率测试装置

用于各种真空材料放气率测试和放气成分分析,装置采用静态升压法、动态流量法和双通道气路转换法进行测试。

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技术指标:

放气测试范围: (10-13~105) Pa ? m/(s . cm)不确定度: Ur =15% (k-2)真空材料放气率测试装置真空计量服务能力

极小分压力校准装置

用于真空分压力质谱计的校准及性能研究,装置采用基于静态膨胀法真空基础标准的动态流量法进行校准。

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技术指标:

校准范围:(105~109)Pa 不确定度:U=5.6%~10%(k=2)

其他设备装置

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