氦质谱检漏仪在航空航天中的应用
氦质谱检漏仪是气体工业名词术语，通常称氦检仪，氦检设备。用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。因为氦气的本底噪声低，分子量清以及粘滞系数小，因而容易通过漏孔并扩散；而且氦是惰性气体，不腐蚀设备，所以常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体···[详情]
2021-11-17
氦质谱检漏仪的分类与结构和工作原理
氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。···[详情]
2021-11-17
常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的···[详情]
2021-11-17
常规检漏和逆扩散检漏原理图
氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩···[详情]
2021-11-17
氦质谱检漏仪检漏原理、结构、检漏模式、泄漏量计算介绍
本文介绍氦质谱检漏原理、氦检漏仪内部构造、泄漏量计算、检漏方式选择。一、为什么要检漏 泄漏和密封相对应，很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条···[详情]
2021-11-17