阀门行业某客户应用氦质谱检漏仪
由于半导体工业上用的气体如硅烷( SiH4), 氨气(NH3)等等都是有毒或有腐蚀性的气体,所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求成品最终漏率低于5-10 mbar l / s, 而这样的漏率要求也只有氦质谱检漏仪能达到了.阀门检漏需求 阀门的密封性···[详情]
2022-04-02
真空流体阀检漏
阀门检漏，阀门气密性测试方案是向阀门内充入设定压力的氦气，在被检测处如阀杆等，用氦质谱检漏仪正压法（吸枪法）检测。用氦质谱检漏仪吸枪法测出的泄漏率3.510E-3Pa.m3/s,吸枪法检测的精度可充分满足气密性检测要求。[详情]
2021-11-19
精密真空管件检漏
2021-11-19
法兰套件真空检漏
2021-11-19
波纹管真空检漏 氦质谱检漏仪
2021-11-19